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第24章 关于这个问题,我在这里告诉大家:是的,EUV已经成功下线!(1)

“老师,又有什么安排了?”

中国南方地区,某处晶圆工厂,周晓晨和他的学生李坤正在忙活着。

“行业峰会那边,我们公司准备接下和白驹科技的一个合作项目。”周晓晨说道:“这几天我们要进行一系列的方案评估。”

“什么方案,有关光刻机的吗?”

“不是,碳硅融合半导体,光刻应该是小部分,大部分应该是以半导体硅为基础进行碳纳米管安置这个动作。最终的目标,是在晶圆基础上生成高纯度、高密度的单臂碳纳米管。”

周晓晨说道:“最近,你的学习方向需要改变一下,多关注化学气相沉积cvd方案的碳纳米管生长,尤其是,怎么通过基地图案控制生长位置这个课题相关的公开论文和资料,一定要多加关注。”

“这也太难了吧?”

单臂碳纳米管这东西,不是一个新概念,而且,在白驹科技在发布会上提过碳硅融合半导体之后,几乎所有行业内的人,都重新考虑了这个东西实现的可能性。

因为现在虽然有相关理论,但是,当前就只能做到以半导体为主,碳纳米管辅助多层芯片联系,是做不到高密度,更别说还是立体的高密度碳纳米管在晶圆半导体里的特定生长的。

“难?那你觉得,我们搞euv光刻机难不难?”周晓晨问了这么一句话:“机会必须要抓住!”

这次的行业峰会,白驹科技公开了他们的乙级合作项目。

其中,最重要的两块儿内容,一个是立体立体五感通信网络,另一个就是碳硅融合半导体制造这一条线上的上下游。

碳硅融合半导体的相关研究,目前确定的是华为和沪上微电子、白驹科技三方共同研究。

而周晓晨,是沪上微电子装备的少壮派,系统微环境工程师。

当前,他的主要工作就是光刻机和晶圆产线中复杂微环境分系统的建模、仿真、分析。

微环境系统这个东西,它是涉及力学、热能工程、环境工程、建筑环境与设备、机械设计及自动化、控制工程、机电工程、信息工程等非常多的学科,同时也是一个融合性的一个系统工程。

这个系统有多复杂?

这么说吧,我国的光刻机,尤其是euv光刻机,量产一次又一次的跳票,30%是因为部分精尖端的零部件,比如光源系统、物镜系统等,但至少一半原因,是因为微环境系统的问题。

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